内容摘要:
真空仪器传统的实现真空切换的方式如下:靶台移动至进样孔的内侧开口处以封闭进样孔的内侧开口,对过渡腔进气使过渡腔室的气压与外界平衡,打开真空箱上的密封盖,进行样品的更换。样品更换完成后,盖上密封盖,样品靶触碰到微动开关,表明盖已盖好,无磁升降台公司,但无法判断密封圈是否正常;对过渡腔进行抽吸,预抽一段时间后,通过低真空规判......
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