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浅谈微型直线电机有哪些常见问题微型直线电机是否适用于洁净室直线电机适用于洁净室。许多前端半导体使用都使用在微型直线电机,在晶圆制作工厂,光刻机放置在等级为10的洁净室里,微型直线电机使用于其间XY定位渠道,适用纳米分辨率来完成亚微米级精度。直线电机也使用在其它领域中,半导体后端包装、测验、硬盘的装配与测验等使用,都在洁净室里。在洁净室里,相比较传统的滚珠丝杠驱动,直线电机的驱动组织没有接触,因而没有磨损而导致粒子生成。微型直线电机不需要润滑剂,由于润滑剂也是污染源。 微型直线电机基本原理直观上这种电机就是将咱们常见的电机的动子和定子“打开”,将电能直接转化成直线运动机械能(一般电机产生扭矩),而不需要任何中心转化组织的传动装置。可是,微型直线电机的形制未必都是“直线”的。它有一个很重要的特点就是微型直线电机的运动部分是有......
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