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内容摘要:
纳米定位台概述纳米定位台采用黏滑原理驱动,即利用物体接触表面间的动静摩擦力实现步进位移。基于黏滑原理的单自由度纳米定位台主要由基座、致动器、导轨和摩擦块 部分组成。致动器随时间缓慢伸长,导轨与摩擦块间的相对运动速度较小,表面间摩擦力为静摩擦力,摩擦块在静摩擦力的作用下与导轨保持相对静止,共同向右移动;致动器收缩,压电纳米......
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