内容摘要:
净化工程的维护1、净化空调系统应连续运行,且定期进行清洁维持工作。2、洁净室必须维持于正压状态,无尘车间净化工程,且保证净化工程洁净区应与非洁净区高于10pa。3、洁净区内的温湿度应做好控制与维持工作,必须根据企业的实际生产需要来设置,一般情况下温度为22——25摄氏度,芜湖净化工程,湿度为40%——60%。4、净化工程公司设置的流洁净室的缓冲区域应设有明显的标识,各洁净区的门必须保证关闭状态,且进出门不可同时打开。 如何控制无尘洁净室的温度湿度?湿度过高发生的问题更多,相对湿度超越55%时,车间净化工程,冷却水管壁上会结露,假如发生在精密装置或电路中,无尘净化工程,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的灰尘化学吸附在外表耐难以铲除由于加工精度越来越精密,所以对温度波动规模的要求越来越小。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工......
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