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气体质量流量控制器对于气体的要求1,气体必须洁净且没有颗粒物,数字流量控制器, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。2,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,还容易产生危险。 什么是气体质量流量控制器?气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用,更主要的是,它能控制气体流量,即客户可按照需求设定流量,MFC会自动......
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