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内容摘要：
抛光机抛操作的关键是啥? 抛光机抛光操作的关键是设法获得较大的抛光速率，以便去除抛光机抛光过程中出现的损坏层。同时，有必要使抛光损伤层不影响终观察到的布置，即，不形成错误的布置。前者需要使用较粗糙的磨料以确保较高的抛光速率，以去除抛光损伤层，但抛光损伤层也较深。后者需要使用精细的信息来使抛光损伤层更浅，但抛光率很低。解决这种矛盾的较好方法是将抛光分为两个时期。 粗抛意图是去掉磨光损害层......
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