内容摘要:
光学微电子净化工程解决方案: 4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点 B、室内空气参数要求 : (1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。 (2)新风量大。由于这类车间内,百级洁净室,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。 (3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,百级洁净室报价,是≥15次/h)。 光学微电子净化工程解决方案: 3、光学微电子行业净化工......
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