内容摘要:
SU-8制备的模具具备以下优势:1、高分辨率和精度:SU-8是高分辨率的光刻胶,使用光刻工艺,可以制备复杂且精细的微通道几何形状,从而形成清晰的微流体结构。2、强韧:SU-8模具具备强韧性和耐久性,能够经受住反复使用、清洗和处理,PDMS模具,不会明显退化,适合多次浇筑PDMS芯片。SU-8模具,使用光刻工艺,可以在SU-8模板上制造线条宽度大于2微米,并且实现深宽......
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