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内容摘要：
直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级，十万级净化车间，增加一级过滤器。现在我们的经济科技在发展，同时带动了社会各行各业在告诉发展中。以净化工程这个行业为例，在目前呈现一片喜人的发展态势。 洁净厂房工程除了常规电、水、通风外，还有空调设备、净化设备、工艺管道、照明等。在建造开始时，洁净厂房工程地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷衣食住行、节约项目投资和运营花费的标准。净室及净化空调系统都达到了了洁净的要求之后，净化空调系统必须要进行试运转。好连续运转12个小时以上，然后再次进行清扫，擦净洁净室后立即安装......
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