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内容摘要：
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时好不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。 层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解，根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。净化工程是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使......
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