内容摘要:
常用的PDMS材料常用的PDMS有两种,硅芯片,一种是迈图的PDMS RTV-615,一种是道康宁 PDMS Sylgard 184 。这两种材料的成分目前还属于商业秘密,不被外人所知,根据多年的经验,可以给出选择如何选用PDMS的一些建议:迈图PDMS RTV-615:1)制备微阀的sho选;2)坚固,键合力强,试用于多层键合的芯片;3)不耐脏,易脏。道康宁PDM......
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