内容摘要:
2、平台组成2.1 电子秤量程:0.01~1000g精度0.01g方形托盘大小:16x18cm2.2 脱泡器材质:PC材料隔板直径:230mmyouzhi硅胶O型密封圈可维持高真空2.3 PDMS浇筑器材质:铝合金真空吸附硅片规格:适合4寸及4寸以下SU8模具或纯硅模具浇筑2.4 烘箱温度范围:10℃~300℃温度分辨率:0.1℃温度波动:±0.2℃内胆材料:不锈钢......
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