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内容摘要:
SU8加工平台SU8模具制备方法1)基底准备SU8模具,通常采用硅衬底,PDMS芯片模具,即使晶片是新的,也必须在接收 SU-8 光刻胶之前准备好。如果在无尘室,可以使用溶液(H2SO4+H2O2)清洗,在无尘室外可以用bing酮。在任何情况下,您都必须加热衬底以去除表面上的所有水分。我们建议在 120°C 的烤箱中加热 15 分钟。这个加热步骤非常重要,因为它可以......
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