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内容摘要:
SU8是一种光刻胶,常用于制作微电子和光学器件的模具。以下是使用SU8制作模具时需要注意的事项:1.清洁:在涂覆SU8之前,必须确保基板表面干净无尘。任何杂质都可能影响光刻胶的附着力和精度。2.溶解:SU8需要在特定的溶剂中溶解,因此必须使用正确的溶剂和正确的比例。过量或不足的溶剂都可能导致光刻胶的不均匀性和质量问题。3.涂覆:在涂覆SU8时,必须确保光刻胶均匀地覆......
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