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内容摘要：
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情，但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着好的方向发展，无菌净化车间，对净化车间的依赖度也越来越高。1级：尘埃易使芯片失效或者稳定性下降，当金属尘埃落于集成电路上时，就可能造成短路。当空气中的酸性离子落在电路上时，可能将电路腐蚀，因此净化空调系统对微电子工业而言至关重要。此外，液晶、光纤的生产也需要1级洁净度的要求。 洁净厂房工程除了常规电、水、通风外，还有空调设备、净化设备、工艺管道、照明等。在建造开始时，洁净厂房工程地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷衣食住行、节约项目投资和运营花费的标准。净室及净化空调系统都达到了了洁净的......
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