顶旭（苏州）微控技术有限公司

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内容摘要：纯硅模具介绍纯硅模具是制备高深宽比微通道的理想选择，利用硅的干法刻蚀技术，可以轻松实现深宽比zui高达25:1的微通道结构，而且线条宽度可控制在2微米以上，精度误差仅在±1微米范围内。然而，硅表面通常具有强烈的亲水性，这可能导致PDMS芯片在脱模时黏附在硅表面，制造过程中的一大挑战。为解决这个问题，通常需要对硅表面进行疏水修饰，PDMS芯片模具，使硅表面变得疏水，......

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