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内容摘要：
SU-8软烤（光刻胶的第yi次烘烤）软烘烤的目的是蒸发溶剂，纯硅模具，使 SU-8 光刻胶更坚固。蒸发会稍微改变层的厚度，并准备好暴露在紫外线下的 SU-8 光刻胶。实际上，大约 7% 的溶剂量可以实现良好的曝光。这将取决于层的厚度，但请记住，有问题的点将是 SU-8 光刻胶内部的机械应力。为了尽可能地减少这种压力，你必须稍微加热和冷却。使用热板来烘烤 SU-8 光......
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