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内容摘要： PDMS键合原理等离子键合机，用于将聚二甲ji硅氧烷（PDMS）与自身或者其他材料（如玻璃、硅片）紧密粘合形成微通道。PDMS键合的工作原理是：在真空状态下，空气或者氧气被高频电源发生器激发电离，PDMS切割器，形成等离子体，清除PDMS表面的有机物，使其暴漏在高活性的氧自由基和高能氧离子的气氛中，PDMS表面的碳氢化合物与其反应，形成硅醇（SiOH）基团，增加了P......

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