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内容摘要:
SU8是一种光刻胶,常用于微电子和光学领域的微结构制造。以下是定制SU8模具的一般步骤:1.设计:首先,需要设计要制造的微结构。这通常需要使用计算机辅助设计软件(CAD)来创建一个3D模型。2.制作掩模:接下来,需要制作一个掩模,该掩模将用于将设计转移到SU8光刻胶上。掩模通常由光刻胶制成,并且具有与设计相同的形状和尺寸。3.涂覆:然后,需要将SU8光刻胶涂覆在基板......
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