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内容摘要：
等离子体注意事项1、等离子清洗机的摆放位置要略高真空泵，以免真空泵的微量回油进入清洗机内。2、请不要使被处理物体与高压极板相接触，PDMS脱泡器费用，特别是金属物体会造成射频高压对地短路而损坏设备。3、在使用手动控制处理结束后应复原全部电气按钮。如果没有复位自动操作不能正常进行。4、设备加电后请勿打开机盖，防止高压触电，PDMS脱泡器，个别情况烧毁保险管需更换时，请......
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