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内容摘要：
净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高1效空气过滤器代高1效空气过滤器。净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解，生物净化车间，根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99。97~99。99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，电子厂净化车间，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。 净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，（21世纪）在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用，万级净......
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