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内容摘要：
真空热蒸发镀膜工艺OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。本信息由艾明坷为您提供，如果您想了解更多产品信息，您可拨打图片上的电话咨询，艾明坷竭诚为您服务！ 手套箱操作提示1、不管打开内门还是外门，都必须保证门两边的气压基本平衡，否则，要么打不开，要么发生“气爆”现象。同样，在对箱体内抽气与充气时，也必须保证三通阀处于打开状态（即保证手套内外的气压相等），否则，手套会......
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