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内容摘要：
还有一些特殊类型的气浮平台，如静压气浮平台和气浮光学平台等。静压气浮平台利用气体的静压支撑力来支撑和隔振光学元器件，气浮平台，具有和高稳定性的特点。气浮光学平台则是一种基于气浮技术的光学平台，广泛应用于光刻、光学检测等领域。其工作原理是通过在平台上加压气体，使光学元件与平台之间产生气浮效应，从而实现的平移、旋转和定位。平台 适用范围广：气浮平台不仅适用于海洋工程领域，直线气浮平台，还可以应......
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