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内容摘要:
PFA花篮(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花蓝 ,特氟龙卡匣 , 特氟龙晶舟盒 ,特氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器,耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),能做激光雕刻,能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。
主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,可搭配PFA把手使用。
二、参数
名称 规格 耐温性 应用......
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