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内容摘要:
真空镀膜系统 机械泵的目的是为了获得低真空,通过机械方法改变泵内吸气空腔的体积,使得被抽容器内的体积不断膨胀,从而获得粗真空,旋片式真空泵由转子、定子和旋片等结构构成,其中,定子在油箱中,油起到润滑的目的,挥发的油经由排气口排出,经过真空泵油雾过滤器过滤,油雾颗粒被过滤器,过滤后可实现再利用。镀膜工艺由多种不同的泵组合原因就是为了获得高真空,因此第二步就是油扩散泵,之所以要在油扩散泵前安装机械泵,贵州真空镀膜,是因为油扩散泵不能直接在大气压下工作,需要一定的预备真空度。油扩散泵获得真空的方法主要是油的蒸汽压与气体分子的反扩散,为了防止油扩散泵返油就需要使用的泵以及有效的冷阱,大型镀膜机使用更有效的高真空组合。 对于真空镀膜机必须要掌握的名词低温冷凝泵:它是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,真空镀膜多少钱,是目前获得极限真空1高,抽速1大的抽气泵。冷凝泵的工作原理:主要......
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