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内容摘要:
如何选择真空镀膜设备供应商真空检测系统,目前基本都是用复合真空计,热偶规+电离规的组合,这个组合在遇到充入大量含有C元素的气体的工艺,电离规很容易毒化,造成电离规损坏,如果镀制含有大量C元素的气体的工艺,可以考虑,配置电容薄膜规。真空电源,国产电源和进口电源的差距还是比较明显,真空镀膜多少钱,当然价格也比较优惠,真空镀膜,一台国产的20KW中频电源在8万左右,一台进口的中频电源在20万,进口电源的性能和可靠性,稳定性会更好,国产电源由于产地就在国内,可能在服务上要好于进口电源。 真空镀膜设备真空泵的选择真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进......
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