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内容摘要：
LPE的硅外延层，以其良好的电学、光学及其生长特性，而在CVD无法胜任的领域应用前景诱人.目前，取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术 [1] .场控制器件：CVD在硅器件的埋结制造中，因自掺杂而出现埋层尺寸增加，1260液相，密排栅极叉指制造也受到严重影响，而LPE因其可以消除自掺杂，而在这方面得到应用，尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造，1260液相厂家，其优点更为明显 [1] . 可兼容常规和超液相色谱：1260 Infinity II 四元泵和 1260 Infinity 二元泵能够在高 600 bar 的压力下运行，1260液相怎么用，非常适合用于 InfinityLab Poroshell 120 色谱柱分析型和半制备型纯化：1260 Infinity II 四元泵的宽流速范......
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