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内容摘要：
高纯供气系统气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，高纯供气生产厂家，内设可活动的气瓶抱箍，便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体泄露时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。 电子特气管道系统氦检漏检测规定1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得1*10-10mbar*l/s。2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*1......
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