内容摘要:
石英管的选用:闭管扩散要用石英管,这是由于石英管能耐1250℃左右的高温,而且在1800℃以上时会变得很柔软且很粘,能做成所需要的形状。另一方面,由于石英管采用的原料是特i级水晶石,纯度高,含有害的杂质很少,对于扩散、配制合金等能保证质量,因此闭管扩散常采用石英管。石英管的制备:根据扩散硅片直径的不同,来选择石英管的内径、壁厚等参数。 石英管的物理性能1、热稳定性好石英玻璃的热膨胀系数较小,加热石英管,能承受剧烈的温度变化,将石英玻璃加热至1100℃左右,放入常温水中也不会炸裂。2、透光性能好石英玻璃在紫外线到红外线的整个光谱波段都有较好的透光性能,可见光透过率在93%以上,特别是在紫外光谱区,石英管,较大透过率可达80%以上。3、电绝缘性能好石英玻璃的电阻值相当于普通玻璃的一万倍,是较好的电绝缘材料,即使在高温下也具有良好的绝缘性能。石英玻璃由于具有上述优良的理化性能,因此被广泛......
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