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内容摘要: 溅射技术:溅射技术按产生等离子体的方式可分为:a. 利用直流辉光放电的二极溅射;b. 利用热丝弧光放电的三极溅射;c. 利用射频放电的射频溅射;d. 利用封闭跑道磁场控制辉光放电的磁控溅射.2 磁控溅射阴极结构:目前工业用磁控溅射装置主要是采用矩形平面磁控溅射阴极(图a),一般使用的靶材尺寸有两种规格: VT机:长×宽×厚(450.5×120×6)mm; ZCK机: 460×100×6.圆柱形磁控溅射阴极也逐步运用到生产当中(图b),家具镀钛厂家电话,两者相比,平面靶材的利用率只有20~30%,即利用率低. 此外,多弧镀涂层颜色较为稳定,尤其是在做 TiN 涂层时,家具镀钛厂家哪里有,每一批次均容易得到相同稳定的金黄色,令磁控溅射法望尘莫及。多弧镀的不足之处是,阜阳家具镀钛厂家,在用传统的 DC 电源做低温涂层条件下,当涂层厚度达到0.3μm 时,沉积率与反射率接近,成膜变得......
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