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内容摘要:
真空镀膜设备真空泵的选择真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。本信息由艾明坷为您提供,如果您想了解更多产品信息,您可拨打图片上的电话咨询,艾明坷竭诚为您服务! 真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法制的薄膜的均匀性都会受到某种......
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