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内容摘要：
基片置于合适的位置是获得均匀薄膜的前提条件.b、压强的大小. 为了保证膜层质量，压强应尽可能低Pr≦(Pa)L表示蒸发源到基片的距离为L(cm)。c、蒸发速率.蒸发速率小时，沉积的膜料原子(或分子)上立刻吸附气体分子，因而形成的膜层结构疏松，颗粒粗大，缺陷多;反之，膜层结构均匀致密，机械强度高，膜层内应力大.d、基片的温度.在通常情况下，基片温度高时，吸附原子的动能随之增大，形成的薄膜容易结晶化，并使晶格缺陷减少;基片温度低时，则没有足够大的能量供给吸附原子，因而容易形成无定形态薄膜. 离子镀基本原理：在真空条件下，采用某种等离子体电离技术，使镀料原子部分电离成离子，处理不锈钢镀钛电话，同时产生许多高能量的中性原子，在被镀基体上加负偏压。这样在深度负偏压的作用下，离子沉积于基体表面形成薄膜。九、离子镀的工艺过程：蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极（即工件）的吸引下，......
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