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内容摘要：
电子束蒸发镀膜利用高速电子束加热使材料汽化蒸发，在基片表面凝结成膜的技术。电子束热源的能量密度可达104-109w/cm2，可达到3000℃以上，可蒸发高熔点的金属或介电材料如钨、钼、锗、SiO2、AL2O3等。电子束加热的蒸镀源有直型电子和e型电子两种(也有环行)，电子束自源发出，用磁场线圈使电子束聚焦和偏转，真空不锈钢镀钛选哪家，对膜料进行轰击和加热。 增强型磁控阴极弧：阴极弧技术是在真空条件下，通过低电压和高电流将靶材离化成离子状态，从而完成薄膜材料的沉积。增强型磁控阴极弧利用电磁场的共同作用，将靶材表面的电弧加以有效地控制，使材料的离化率更高，薄膜性能更加优异。 过滤阴极弧：过滤阴极电弧(FCA )配有的电磁过滤系统，安阳真空不锈钢镀钛，可将离子源产生的等离子体中的宏观粒子、离子团过滤干净，真空不锈钢镀钛公司，经过磁过滤后沉积粒子的离化率为，并且可以过滤掉大颗粒， ......
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