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内容摘要：
实现晶体的外延生长。这种技术可以生长Si、GaAs、GaAlAs、GaP等半导体材料以及石榴石等磁性材料的单晶层，用以做成各种光电子器件、微波器件、磁泡器件和半导体激光器等 [1] 。液相外延由尼尔松于1963年发明，成为化合物半导体单晶薄层的主要生长方法，1200液相，被广泛的用于电子器件的生产上。薄层材料和衬底材料相同的称为同质外延，反之称为异质外延。液相外延可分为倾斜法、垂直法和滑舟法三种。 仪器控制及数据处理系统 (Agilent Chemstation)安捷伦的化学工作站是真正意义上的四级仪器控制软件;参数输入：仪器控制参数，数据采集及计算处理参数的设定；报告：内置多种报告格式，1200液相哪里有，可自动生成系统适应性报告、峰纯度报告、光谱检索报告等；用户也可编辑个性化的报告模板；早期维护预警（EMF）：提供消耗元件累计使用情况，以便及时进行系统预防性维护；安装验证（I......
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