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内容摘要：
大宗特气供气系统介绍大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用1的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。艾明坷科技有限公司主营手套箱，如需了解更多详情，欢迎与我们交流! 电子特气管道系统氦检漏检测规定1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得1*10-10mbar*l/s。2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;3、阀座测漏法测定的泄......
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