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内容摘要：
光学镀膜膜厚仪的原理是什么？光学镀膜膜厚仪的原理主要基于光学干涉测量技术。其在于利用光的波动性质以及薄膜的光学特性，通过测量干涉光强的变化来推导薄膜的厚度信息。具体而言，当一束光线垂直入射到待测膜层上时，一部分光线在膜层表面被反射，另一部分则穿透膜层并在膜层内部经过不同材料的反射和折射后再反射回来。这两部分反射光在膜层表面相遇，形成干涉现象。干涉光强的变化取决于薄膜的厚度和折射率，以及光线的波长和入射角度等因素。膜厚仪内部设有光源、分束器、反射镜和检测器等组件。光源发出的光经过分束器后形成两束相干光，其中一束直接照射到膜层表面，另一束则经过反射镜后照射到膜层表面。两束光在膜层表面相遇并产生干涉，干涉光强的变化被检测器并转化为电信号。通过对干涉光强变化曲线的分析，可以推导出薄膜的厚度信息。当两束光的光程差为整数倍的波长时，干涉叠加会增强光强，形成亮条纹；当光程差为半波长的奇数......
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