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内容摘要：
射频溅射采用射频电源代替直流电源，在靶和衬底间施加高频电压，溅射时，靶极会产生自偏压效应（即靶极会自动处于负电位状态），使绝缘靶的溅射得到维持。常用的频率约为13.56兆赫。优点可以溅射所有材料，包括导体和绝缘体溅射可大规模生产磁控溅射磁控溅射通过在靶阴极表面引入正交电磁场，把二次电子束缚在靶表面，成螺旋状运行来增强电离效率，增加离子密度和能量以增加溅射率。电源方面可同时配备直流和射频两种。 现有镀膜工艺，真空镀钛厂家公司，多数均要求事先对工件进行严格清洗，既复杂又费事。离子镀的镀层组织致密、无、无气泡、厚度均匀。甚至棱面和凹槽都可均匀镀复，不致形成金属瘤。象螺纹一类的零件也能镀复，商丘真空镀钛厂家，有高硬度、高性（低摩擦系数）、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点，膜层的寿命更长；同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能其缺点是：1）工艺比传统单色PVD的更为复杂，流程更为繁......
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