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内容摘要：
真空镀膜系统电子束蒸发源蒸镀法将蒸发材料放入水坩锅中，直接利用电子束加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面成膜，是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点，特别适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。依靠电子束轰击蒸发的真空蒸镀技术，根据电子束蒸发源的形式不同，又可分为环形，直，e型和空心阴极电子等几种。环形是由环形的阴极来发射电子束，经聚焦和偏转后打在坩锅内使金属材料蒸发。它的结构较简单，但是功率和效率都不高，基本上只是一种实验室用的设备，目前在生产型的装置中已经不再使用。 真空镀膜设备的日常维护真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，陕西真空镀膜，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。设备的维护要有日常维护和定期维护1，日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，......
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