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内容摘要：
真空镀膜系统机械传动部分涂层要求周边必须厚度均匀一致，因此，在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。即在要求大工件台转动(I)的同时，小的工件承载台也转动( II)，并且工件本身还能同时自转(III)。在机械设计上，一般是在大工件转盘底部为一大的主动齿轮，周围是一些小的星行轮与之啮合，如果要实现产品自转的话，一般用拨叉拨动工件自转。 真空镀膜系统真空镀膜在日常生活中非常常见，就是一个真空系统也比较复杂，真空镀膜系统，现在，我们一起去探索一下真空镀膜的设备秘密吧。真空镀膜设备不是单一的设备，而是设备组，它是由真空系统、蒸发系统，蒸发辅助系统，加热系统，整机的电气与自动化控制系统共同构成，今天，我们主要讨论的是真空镀膜设备中的真空系统。真空泵油雾过滤器也被运用在真空系统当中，使得真空镀膜工艺排放无污染，节能环保。真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。真......
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