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内容摘要：
LPE的硅外延层，以其良好的电学、光学及其生长特性，而在CVD无法胜任的领域应用前景诱人.目前，取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术 [1] .场控制器件：CVD在硅器件的埋结制造中，因自掺杂而出现埋层尺寸增加，密排栅极叉指制造也受到严重影响，而LPE因其可以消除自掺杂，而在这方面得到应用，尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造，其优点更为明显 [1] . 色谱分析的目的是将样品中各组分彼此分离。组分要达到完全分离，两峰间的距离必须足够远，两峰间的距离是由组分在两相的分配系数决定的，即色谱过程的热力学性质有关。但是两峰间虽有一定的距离，如果每个峰都很宽，以至彼此重叠，还是不能分开。这些峰的宽或窄是由组分在色谱柱中传质和扩散行为决定的，唐山二手1260液相设备，即与色谱过程中的动力学性质有关......
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