因此，电力行业对高压电气设备及其配套产品在密封性能上要求极高，氦质谱正压检漏法。给被检件内腔充入与设备工作压力相同的氦气，置入封闭容器中，将封闭容器与氢质谱检漏仪连通，待氦质谱检漏仪指示可检时，被检件内的氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。氦质谱负压检漏法，将被检件装在氦质谱检漏仪上，对被检件抽真空，当达到检漏仪的开检压力后，对被检件漏点处喷氦气，氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，家电行业检漏设备，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格，升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
本次试验被检测部位共40余处，并对汽轮机及小汽轮机轴封部位进行了变工祝复测。终结果发现特大漏点1处，大泄漏点1处，中漏点1处，小泄漏点10处，其他点为微漏或不漏。测试发现特大漏点部位为低压缸扩侧防爆膜，大泄漏点部位为低压缸固侧防爆膜，中泄漏点部位为低压缸扩侧法兰。为了在不影响机组正常运行的情况下，有效的改善机组真空状况，我们对主要漏点进行了涂抹密封胶临时堵漏处理，经过多次处理并检测，终处理后满足使用要求。
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