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视频作者：凯德金（北京）科技发展有限公司
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，循环水真空泵生产厂家，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，循环水真空泵公司，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
真空泵机械安装
在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。
按电动机标牌规定连接电源，循环水真空泵报价，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）
对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。
如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。⑼当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
真空泵正确组合
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，循环水真空泵，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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