VIEW Benchmark 624 是 QVI旗下一款大容量式全自动三轴尺寸测量系统.® VIEW Benchmark 624 的移动桥式结构和光学可使被测组件某始某终保持静止状态 X,Y,Z行程 (mm):624 x 624 x 150,0.5 μm 选项:624 x 624 x 200 X,Y,Z 光栅尺分辨率:0.5 μm,选项: 0.1μm 工作台驱动系统:直流伺服马