Summit450/625/800 参数介绍： XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺) Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头) 英制单位 公制单位 测量范围(Summit 450) 18" X18"X6" 450X450x150
