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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司
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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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高真空涡轮分子泵是什么？
涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。
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VARIAN TV301分子泵特点功耗更低、性能更佳通过减少发热而节能，并提高可靠性为风冷而优化的冷却翅片通过降低工作温度进一步提高可靠性泵具有优化的几何尺寸功率要求低，前级耐压高及可承受高气载可拆卸的前级连接器可连接各种前级泵 冷却方式灵活（风冷或水冷）
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涡轮分子泵的优势是启动快，varian分子泵维修保养，具有抵抗各种射线的照射的能力，耐大气冲击，茂名varian分子泵维修，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，所以能获得清洁的超高真空。
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