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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司
广州潽拓光电科技有限公司——进口爱德华真空泵
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Edwards NEXT 2002000 VER.160W三入口能同时抽取三个腔体的真空，分别抽速可达到215 L/s / 28 L/s，对应的控制器为Edwards EXDC160。
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