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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司
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Leybold氦气检漏仪可以对泄漏进行定位并确定泄漏率。实际上，检漏仪通过首先抽空要测试的零件来执行此任务，以便由于存在压力差，来自外部的气体可能通过存在的泄漏进入。如果仅将氦气带到泄漏物的前面（例如使用喷qiang），则氦气将流过泄漏物，莱宝分子泵真空维修，并由泄漏检测器将其抽出。泄漏检测器中存在的氦分压由扇形质谱仪测量，并显示为泄漏率。通常以氦的体积流量给出。
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