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ccd检测系统的误差来源有:　　①量化误差约0.6μ m;　　②检测装置的定位误差小于0.2μm;　　③光学系统的成像误差小于0.5 μm;此外还有因光源波动，连接器ccd检测，电源电压波动，杂光干扰

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