催化臭氧技术是基于臭氧的氧化技术，它将臭氧的强氧化性和催化剂的吸附、催化特性结合起来，能较为有效地解决有机物降解不完全的问题。催化臭氧化按催化剂的相态分为均相催化臭氧化和多相催化臭氧化，在均相催化臭氧化技术中，臭氧处理废水，催化剂分布均匀且催化活性高，作用机理清楚，易于研究和把握。但是，它的缺点也很明显，催化剂混溶于水，导致其易流失、不易回收并产生二次污染，市政污水深度处理臭氧催化剂，运行费用较高，增加了水处理成本。多相催化臭氧化法利用固体催化剂在常压下加速液相（或气相）的氧化反应，催化剂以固态存在，易于与水分离，提高臭氧利用率臭氧催化剂，二次污染少，简化了处理流程，因而越来越引起人们的广泛重视。
（1）二氧化钛TiO2
TiO2一般用作光催化反应，但是它对水中有机物的催化臭氧化也有很好的效
果，既可以单独作为臭氧化反应的催化剂，吉林臭氧催化剂，又可以和紫外光一起共同催化臭氧化。 Beltran等以TiO2粉末作催化剂，研究了催化臭氧化降解草酸的效果。相对于单独臭氧氧化体系，多相催化臭氧化法对草酸的去除率和矿化程度有了极大的提高。
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