特 点： l 可测定零件、基板由于加热而形成的彭胀及变形 l 因为可以按照 X-Y 轴方向移动下方的激光变形计，所以实现了连续变形的测试 l 可以将温度及时间任意设定１９点、在其状态下确认变位测定 l 适用用软件可以解析曲线数据・和变形测定数据 l
